本装置は超音波発振器にて発生させた微細水蒸気ミストをトレースに使い、室内環境における気流のながれを可視化できる装置です。
●特徴
| ■クリーンルームの気流の状態を簡単に可視化 |
| ■ハンディータイプ、バッテリィー式 |
| ■汚染がないため実稼働中のクリーンルームでも使用可能 |
| ■ミスト材料は、入手簡単な超純水 |
| ■粒径の0．5μm安定した粒子の供給 |
●使用例
クリーンルームにおいては測定場所によって測定器の置き場所や作業者が測定器を持つ姿勢が制限される 可能性がある。
従って、本器は様々な測定スタイルに対応できるよう手で持ったり、 腰に付けたり、肩にかけたり、スタンドに取り付けられるよう設計した。
また、建設現場間の輸送や、容易に保管できるように収納用アルミケースを標準で用意した。
●仕様
| 方式 |
超音波によるミスト発生 |
| トレーサー |
純水、超純水 |
| 構造 |
ケース |
アルミニューム |
| 本体 |
硬質塩化ビニール |
| フィルタ |
ＨＥＰＡ 0．3μm 99．97%以上 |
| 電源 |
ＡＣ100Ｖ及び充電電池による二電源方式 |
| 外形寸法 |
105ＷＸ60ＤＸ160Ｈ（本体のみ） |
| 付属品 |
バッテリー、ＡＣアダプタ。充電器、キャリングケース |
| オプション |
クリーン暗幕シート |
| 重量 |
約1Ｋｇ |
●単分散性
レーザーパーティクルカウンタで測定した発生ミストの粒度分布を示した。
図は計測された全粒子個数濃度中の 0.5μmの大きさの粒子個数割合を0.5μmの粒径比率としてその比率を4段階に分けた。
即ち0〜70、70〜80、80〜90、90〜100になるにつれて0.5μm粒子の均一性が大きい事を意味する。 図の5-1と5-2を比較するとモバイル可視化装置の方が粒度分布の均一性が高い。
●可視化例（超音波三次元風速計との比較）
ノズルは用途に応じて使い分けができるように、多孔型と単孔型のストレート型、横穴型の3種を用意した。
上図はクリーンブース開口上部の気流を測定した結果です。クリーンブースの開口上部にて、 気流がブース内に流入していることがよくわかります。 皆さんのクリーンルームのこのように気流が逆流していませんか？
