クリーンルームは企業にとって商品を製造するための道具です。その立場に立って設計させて頂きます。
●クリーンルームの計画
クリーンルームに導入に当たって様々な項目について検討する必要があります。そのお手伝いを我々はさせて頂きます。
初めてクリーンルームを導入される方、クリーンルームのいろはからご説明させていただきます。 増設される方もまずは一報を。価格・機能・環境を考慮した御社の商品製造や商品開発を目的としたクリーンルームの設計を行います。 また、既設のクリーンルームの改造メンテナンスも請け負います 難しい問題でもどしどしお申し付けください。株式会社 アメニティ・テクノロジーが解決させていただきます。
●クリーンルームの規格
ISO16444-1 規格要旨
| クラス |
上限濃度（個/m3） |
|
|
|
|
| 0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
| ＩＳＯクラス1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
| ＩＳＯクラス2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
|
|
| ＩＳＯクラス3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
| ＩＳＯクラス4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
|
| ＩＳＯクラス5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
| ＩＳＯクラス6 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
| ＩＳＯクラス7 |
|
|
|
352000 |
83200 |
2930 |
| ＩＳＯクラス8 |
|
|
|
3520000 |
832000 |
29300 |
| ＩＳＯクラス9 |
|
|
|
35200000 |
8320000 |
293000 |
クリーンルームの状態定義（清浄度をいつ測定するか？）
(1) ａｓ-ｂｕｉｌｔ（施工完了時）
(2) ａｔ-ｒｅｓｔ（製造装置設置時）製造装置作動
(3) ｏｐｅｒａｔｉｏｎａｌ（通常運転時）製造状態
●喚起回数及び差圧の目安
清浄度クラスに対する換気回数・外気量と使用ファイナル・フィルタの効率
清浄度基準
（クラス） |
換気回数
（層流）（回／h） |
外気量
（回／h） |
使用ファイナル・
フィルタの効率 |
| SI |
English unit |
99.97% |
99.50% |
| M3.5 |
100 |
250〜650 |
10〜20 |
○ |
- |
| M4.5 |
1,000 |
100〜200 |
5〜10 |
○ |
- |
| M5.5 |
10,000 |
50〜70 |
2〜4 |
○ |
換気回数の増加
○ 70〜90 |
| M6.5 |
100,000 |
20〜30 |
1〜2 |
○ |
換気回数の増加
○ 30〜50 |
必要圧力差
| 該当箇所 |
最低圧力差 |
| 異級のクリーンルーム相互間 |
5Pa（0.5mmH2O） |
| クリーンルームと準清浄室 |
10Pa（1.0mmH2O） |
| クリーンルームと一般室 |
15Pa（1.5mmH2O） |
●クリーンルームの構造
垂直一方向流型の一例
垂直一方向流型の一例
クリーンルームにおけるエアーの流れ（一方向流型／非一方向型）
| (1) |
吸入された 外気は、ます粗塵用フィルタを通過します。その際に木の葉などの大きなゴミは除去されます。 |
| (2) |
次に活性炭フィルタで有害ガスを除去します。（必要時） |
| (3) |
ＨＥＰＡ用プレフィルタ（中性能フィルタ）で、土埃など60%〜90%程度除去します。 |
| (4) |
熱交換器および加湿器で空調を行います。 |
| (5) |
ＨＥＰＡフィルタで0．3μm以上の粒子を99．97%以上捕集され除去します。濾過されたクリーンエアーはクリーンルームに導入されます。 |
| (6) |
クリーンルームで少量のエアーは、差圧ダンパーや開口部より排気されますが、 90%以上のエアーはリターン口よりダクトを通じ、再度空調され循環されます。 |
垂直一方向型と非一方向型の比較
| 方式/項目 |
垂直層流方式
Virtical Laminar
Airflow Clean Room |
乱流方式
Turbulent Airflow
Clean |
| 清浄度 |
M1.5〜3.5
(クラス1〜100) |
M4.5〜6.5
(クラス1.000〜100,000) |
| 移動時の清浄度 |
作業者からの影響は少ない |
作業者からの影響有 |
| 運転費 |
高 |
低 |
| レイアウト変更 |
容易 |
容易 |
清浄装置の
メンテナンス |
ルーム内又はリ
ターンスペースから行う |
ルーム内から行う |
| 増設 |
困難 |
やや困難 |
| 高精度空調 |
室全体制御のため室内での不均衡やや有 |
不均衡有 |
